DRK8090 光電プロファイラー

この機器は、非接触の光位相シフト干渉測定法を採用しており、測定中にワークの表面を損傷することなく、さまざまなワークの表面微細トポグラフィーの3次元グラフィックスを迅速に測定し、測定値を分析および計算できます。結果。

製品説明
特長：各種ゲージブロックや光学部品の表面粗さの測定に適しています。定規と文字盤のレティクルの深さ。格子溝構造のコーティングの厚さとコーティング境界の構造形態。磁気（光）ディスクの表面と磁気ヘッドの構造測定。シリコンウェーハの表面粗さ、パターン構造測定など
測定精度が高いため、非接触・三次元測定の特徴があり、コンピュータ制御と測定結果の迅速な分析・計算を採用しています。この機器は、あらゆるレベルの試験および測定の研究ユニット、産業および鉱業の企業測定室、精密加工ワークショップに適しており、高等教育機関や科学研究機関などにも適しています。
主な技術パラメータ
表面の微細凹凸深さの測定範囲
連続面上で、隣接する 2 つのピクセル間に 1/4 波長を超える高さの急激な変化がない場合: 1000 ～ 1nm
隣接する 2 つのピクセル間に波長の 1/4 を超える高さの変異がある場合: 130-1nm
測定の再現性: δRa ≤0.5nm
対物レンズ倍率: 40X
開口数：Φ65
作動距離: 0.5mm
計器視野視覚：Φ0.25mm
写真：0.13×0.13mm
装置倍率 視覚：500×
写真（コンピュータ画面で観察）-2500倍
受信機測定アレイ: 1000X1000
画素サイズ：5.2×5.2μm
測定時間サンプリング（スキャン）時間：1S
計器標準ミラー反射率（高）：～50%
反射率（低）：～4%
光源: 白熱灯 6V 5W
緑色干渉フィルター波長：λ≒530nm
半値幅 λ≒10nm
メイン顕微鏡リフト: 110 mm
テーブルリフト：5mm
X、Y方向可動範囲：～10mm
ワークテーブルの回転範囲：360°
作業台の傾斜範囲：±6°
コンピュータ システム: P4、2.8G 以上、17 インチ フラットスクリーン ディスプレイ、1G 以上のメモリ